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半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购项目结果公告

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信息时间：

2025-06-26

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半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购项目结果公告

一、项目编号：0835-250Z******

二、项目名称：半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购项目

三、采购结果

合同包1(半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购):

供应商名称	供应商地址	中标（成交）金额
******有限公司	******街道宝荷大道76号智慧家园1栋B座1804	1,461,800.00元

四、主要标的信息

合同包1(半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购):

******有限公司）

品目号	品目名称	采购标的	品牌	规格型号	数量（单位）	单价(元)	总价(元)
1-1	其他仪器仪表	镀膜-等离子增强化学气相沉积01-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A001	1.0000(套)	239,000.0000	239,000.0000
1-2	其他仪器仪表	镀膜-电子束蒸发系统01-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A002	1.0000(套)	37,000.0000	37,000.0000
1-3	其他仪器仪表	镀膜-电子束蒸发系统02-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A003	1.0000(套)	37,000.0000	37,000.0000
1-4	其他仪器仪表	镀膜-等离子增强化学气相沉积02-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A004	1.0000(套)	239,000.0000	239,000.0000
1-5	其他仪器仪表	湿法-通风柜（普通）-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A005	1.0000(套)	41,000.0000	41,000.0000
1-6	其他仪器仪表	湿法-单片清洗系统-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A006	1.0000(套)	80,000.0000	80,000.0000
1-7	其他仪器仪表	湿法-甩干机-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A007	1.0000(套)	39,500.0000	39,500.0000
1-8	其他仪器仪表	湿法-清洗系统(四槽)-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A008	1.0000(套)	60,000.0000	60,000.0000
1-9	其他仪器仪表	湿法-清洗系统（双槽，去胶）-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A009	1.0000(套)	59,000.0000	59,000.0000
1-10	其他仪器仪表	光刻-金相显微镜-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A010	1.0000(套)	2,600.0000	2,600.0000
1-11	其他仪器仪表	刻蚀-等离子刻蚀-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A011	1.0000(套)	107,000.0000	107,000.0000
1-12	其他仪器仪表	刻蚀-去胶机-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A012	1.0000(套)	62,000.0000	62,000.0000
1-13	其他仪器仪表	刻蚀-等离子清洗机-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A013	1.0000(套)	40,000.0000	40,000.0000
1-14	其他仪器仪表	刻蚀-光学显微镜二次配系统	融科	RKHOOKUP-A014	1.0000(套)	2,600.0000	2,600.0000
1-15	其他仪器仪表	本科-黄光间通风橱-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A015	1.0000(套)	16,500.0000	16,500.0000
1-16	其他仪器仪表	本科-光刻机01-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A016	1.0000(套)	16,500.0000	16,500.0000
1-17	其他仪器仪表	本科-光刻机02-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A017	1.0000(套)	15,500.0000	15,500.0000
1-18	其他仪器仪表	本科-光刻机03-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A018	1.0000(套)	15,500.0000	15,500.0000
1-19	其他仪器仪表	本科-热蒸发镀膜-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A019	1.0000(套)	6,500.0000	6,500.0000
1-20	其他仪器仪表	本科-氧化扩散炉-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A020	1.0000(套)	86,000.0000	86,000.0000
1-21	其他仪器仪表	刻蚀-尾气预处理设备01-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A021	1.0000(套)	55,000.0000	55,000.0000
1-22	其他仪器仪表	镀膜-尾气预处理设备02-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A022	1.0000(套)	55,000.0000	55,000.0000
1-23	其他仪器仪表	毒腐气体间-尾气预处理设备03-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A023	1.0000(套)	55,000.0000	55,000.0000
1-24	其他仪器仪表	化学品暂存间-大化学品柜-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A024	1.0000(套)	48,000.0000	48,000.0000
1-25	其他仪器仪表	化学品暂存间-化学品管理系统-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A025	1.0000(套)	5,600.0000	5,600.0000
1-26	其他仪器仪表	工艺辅房4-小化学品柜-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A026	1.0000(套)	20,000.0000	20,000.0000
1-27	其他仪器仪表	工艺辅房5-冰箱-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A027	1.0000(套)	4,000.0000	4,000.0000
1-28	其他仪器仪表	工艺辅房4-化学品管理系统-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A028	1.0000(套)	4,500.0000	4,500.0000
1-29	其他仪器仪表	二更-洁净室衣柜-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A029	1.0000(套)	8,000.0000	8,000.0000
1-30	其他仪器仪表	二更-洗手台-二次配系统	融科	RKHOOKUP-A030	1.0000(套)	4,500.0000	4,500.0000

五、评审专家（单一来源采购人员）名单：

卢萌、洪胜宏、杨素云、罗晓燕、肖志明（采购人代表）

六、代理服务收费标准及金额：

代理服务收费标准		中标人在领取《中******委员会颁发的计价格〔2002〕1980号、发改办价格〔2003〕857号及发改价格〔2011〕534号文规定的标准费率下浮20%收取，不足5000元按5000元收取。招标代理服务费由采购代理机构向中标人收取。
合同包号	合同包名称	代理服务费金额（万元）	收取对象
1	半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购	1.60638	中标（成交）供应商

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其他补充事宜

合同包1(半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购):

供应商	资格性审查	符合性审查	技术得分	商务得分	价格得分	综合得分	得分排名	推荐排名
******有限公司	通过	通过	47.20	20.00	22.16	89.36	1	1
******有限公司	通过	通过	41.80	12.00	21.74	75.54	2	2
******有限公司	通过	通过	41.80	8.00	21.85	71.65	3	?
******有限公司	通过	通过	14.40	20.00	30.00	64.40	4	?